GASS立式甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。

GASS立式甩干机设备特点
· 可以快速拆卸更换转子；
· 采用直驱式高性能无刷电机；
· 设备正常稳定工作时间≥95%，碎片率低于千分之一；
· 颗粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面无水渍、无污染物；
· 整机采用进口PFA/PVDF/PTFE管件/喷嘴；
· 气动控制部件采用进口SMC压力开关/电磁阀；
· 电源主空气开关带漏电保护；
· 当设备出现异常时,按急停按钮可停机；
· 动力条件监测及报警；
· 加热系统超温保护；
· 门禁/摆正监测报警。

技术参数