快速自动晶圆宏观检测仪_nSpec Macro-岱美仪器技术服务（上海）有限公司手机版

详细介绍

1. 产品简介

nSpec Macro是一种快速自动晶圆宏观检测仪，无论您有多特殊的晶圆检查要求，我们都能提供一系列解决方案来让您获得快速的结果。这种紧凑的系统设计用于对200 mm以下的晶圆进行高通量宏观检查。以毫米为单位，nSpec Macro可以自动检测并量化从50到100微米的众多缺陷，这取决于视场或晶圆尺寸。

nSpec Macro可以照亮样品的整个面，或设置照明角度和/或离散照明矢量。明场，暗场，正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED，配合使用可调节照明的强度，颜色和位置。
该系统会自动导出CSV文件，并且与SECS / GEM兼容，也可以根据客户要求进行定制。
2. 自动化晶圆处理功能
所有Nanotronicsn Spec Macros都装有满足行业标准要求的晶圆装载机。Nanotronics创造了末端执行器，可将整个单个晶圆和/或带有的晶圆加载进去。每个末端执行器都是根据客户的需求设计的。
3. 控制软件
配方易于配置，并可以根据需要保存。可以按顺序进行多次扫描，并且在照射角度，强度和波长方面具有的灵活性。
4. 系统参数
重量：62kg
尺寸（宽x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求：20 in.Hg
电源：110v / 220v，3.5安培
5. 光学特性
暗场照明模式照明角度：0度
倾斜照明模式照明角度：0至80度
明场照明模式照明角度：90度

正交照明模式照明角度：90度（通过镜头）

晶圆缺陷检测光学系统光学镜头.jpg

6. 晶圆装载机
一次运行1个卡夹：标准H型卡夹
标准晶圆尺寸：50、75、100、150或200mm