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面议特征：
可检查铬膜、半色调膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自动判别
不仅是表面缺陷，内部缺陷和背面缺陷也同时检查。
有助于缺陷分析的4种Review图像。
“AI Classify”进行缺陷分类、好坏判定。
免维护。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合检查装置。
能检出至今为止检查不出的缺陷。
检出缺陷：颗粒、划痕、凹坑、气泡。
规格：
检查激光：405nm 200mW LaserDiode
检查时间：180sec
检查对象：6英寸 Photomask blanks
设备尺寸：WxDxH＝450x500x730mm
使用电源：AC100V~200V 10A
