飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是***的集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助***集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

Phenom ProX 主要技术参数

光学放大20 - 135 X

电子放大*** 150,000 X

分辨率优于 8 nm @ 10kV

数字放大Max 12 X

光学导航相机彩色

加速电压5 Kv - 15 Kv 连续可调

真空模式

标准模式

降低荷电效应模式

探测器背散射电子探测器

样品尺寸***直径 32 mm

样品高度*** 100 mm