一、产品用途：
集成电路圆片胶， BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别；集成电路圆片快速退火

二、产品特点：
    
1.一体式人机操作系统，连续式自动化生产，工作效率高，节约人工成本、电能及工艺时间。
    
2.FEC加热，升温迅速且均匀度好
   
3.不锈钢材质，表面经物理及化学抛光处理，确保洁净度。

4.自带自清洁功能，可通氢气清洗内腔

三、控制系统
1.人机界面采用触摸屏方式
2.控制器采用嵌入式控制器
3.超温保护为检测器件

4.具有氧含量检测功能
5.运动控制为伺服/步进控制单元
6.传输为专业晶元传输机器人
7.软件具有功能:温度控制,气氛控制,工艺编辑,数据记录,图表显示.

技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。