KDY-20型两探针电阻率测试仪

1、概述

KDY-20型两探针电阻率测试仪（以下简称两探针仪）是按照我国国标及美国材料与试验协会（ASTM）SEMI MF397-1106（用两探针测量电阻率的测量方法）推荐的材料验收检测方法“两探针法”设计。它适合于测量横截面尺寸是可测量的，而且棒的长度与横截面尺寸之比不应小于3：1。例如横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出，远离电压测量探针，因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应（如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等），对测量的影响较小，因此两探针法的测量精度一般优于四探针法。特别是对多晶材料的测量，由于多晶晶粒间界处，杂质局部偏析可能导致电阻率较大变化，这种影响对四探针法更为严重，故不推荐用四探针法测量多晶材料的电阻率。

本仪器主要由电气测量部份（简称：主机）、测试台及两探针头组成。仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关，在测量某些材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护被测材料。仪器配置了本公司的产品：“小游移探针头”，间距为1.59mm的两探针头探针游移率在0.2%以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机可配用KDY两探针测量系统，置入必须的数据后，测量软件会配合探头在硅棒上移动测量，自动计算各点的电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的值、电阻率最小值，百分变化，测量数据实时存储在数据库中，可随时查询所有测量数据或按条件查询；提供打印及导出格式供用户选择，测量快速、准确，用户在测量使用时会更加方便快捷。

2、技术参数

（1）测量范围：

可测硅晶体电阻率：0.005-10000Ω·cm

可测硅棒尺寸：长度300mm；直径20mm（均可按用户要求更改）

（2）恒流源：

输出电流：DC0.001-100mA 五档连续可调

量程：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA 、1.0-10mA、10-100mA

恒流精度：各档均优于±0.05%

（3）直流数字电压表：

测量范围：0-199.99mV

灵敏度：10μV

基本误差：±（0.004%读数±0.01%满度）

输入阻抗：≥1000MΩ

（4）电阻测量误差：≤0.3%

（5）两探针头：KDT-9

探针间距：1.59±0.01mm 探针直径Φ0.8mm

游移率：＜0.2% 探针材料：硬质合金（WC）

探针压力：3±1N/单针

（6）供电电源：

AC 220V ±10% 50/60Hz. 功率：12W

不能与未加稳压滤波的大功率、高频设备共用电源

（7）使用环境：

温度：23±2℃ 相对温度：≤65%

无较强的电场干扰，无强光直接照射

（8）重量、体积：

主机重量：7.5Kg

体积：390×340×190（单位：mm 长度×宽度×高度）

KDY两探针测试系统测试界面