KDY-4四探针电阻率测试仪

1、概述

KDY-4型四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。

本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率（电压表）的同时，另一块数字表（电流表以千分之二的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，在探头压触样品后再接通恒流源可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护薄膜。仪器配置了本公司的小游移四探针头，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。

2、主机技术参数

（1）测量范围：

可测电阻率：0.001～1999Ω·cm（10-3～10+3Ω·㎝）

可测方块电阻：0.01～19000Ω/□（10-2～10+4Ω/□）

注意：使用0.1档电流测方阻时,由于受数字表位数的限制,电压表上读出的方阻数均要×10。

例如电流表在0.1ｍA档,电流选0453,

电压表读数为1900时, 方阻值为:1900×10=19000(Ω/□);

电压表读数为860时,方阻值为:860×10=8600(Ω/□)。

电流表选在1、10、100 mA档时不存在以上问题。

（2）恒流源：

输出电流：DC 0.01～100mA 四档连续可调

量程：0.01～0.10mA，0.10～1.0mA，1.0～10mA，10～100mA

恒流精度：各档均不低于±0.05%

（3）直流数字电压表：

测量范围：0～199.9mV

灵敏度：100μV

准确度：0.2%（±2个字）

输出电阻：≥1000MΩ

（4）供电电源：

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

（5）使用环境：

温度：23±2℃ 相对湿度：≤65%

无较强的电场干扰，无强光直接照射

（6）重量、体积：

主机重量：4.8 kg

体积：425×342×158（单位：mm 长度×宽度×高度）