▪ 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

• 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性；

• 4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控；

• 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。  

• 输入电压：AC208-220V，50/60Hz

• 总功率：<>

▪ 温度：1100℃（<>

▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

▪ 工作电压：110V；

▪ 额定功率：1.5KW；

▪ 回转炉旋转速度：0-5 rpm。

更多参数请联系科晶销售部

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调 （稳定性：±1%）	0-500W可调 （稳定性：±1%）	0-100W可调 （稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10-2Torr。

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

▪ 标配KJ-5000循环水冷机，水流速率：16L/min

▪ 尺寸：1400mm L´600mm W´1240mm H

▪ 净重：90 kg 

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）