1200℃三温区PE粉体回转炉系统OTF-1200X-III-R5-PECVD

1200℃三温区PE粉体回转炉系统OTF-1200X-III-R5-PECVD

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-02-06 19:12:20
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北京壮仕科技有限公司

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产品简介

设备名称1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统(2019

详细介绍

设备名称

1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统 (2019.10.31-科晶实验室审核)


产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示


产品特点

▪ 炉体在0 - 25°内倾斜,有利于粉末样品的装卸;

▪ 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

▪ 四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

▪ 配备自动进出料系统可实现连续生产,可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给和收集。


加热炉参数

三温区回转炉

▪ 温度:1200℃(<>

▪ 三个PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃;

▪ 输入功率:208-240 V,单相,功率:4 KW;

▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以限度降低能耗;

▪ 回转炉旋转速度:2-10 rpm;

▪ 炉体开启式设计以达到对样品快速降温,方便更换炉管。


三温区管式炉.jpg     图片1.jpg



更多参数请联系科晶销售部


射频电源

300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

图片2.jpg 

图片3.jpg 

图片4.jpg


真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。


图片5.jpg

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


图片6.jpg      图片7.jpg

产品尺寸和重量

▪ 设备尺寸:2800mm L× 800mm W×1700mm H

▪ 供气系统:600mm L×700mm W×700mm H

▪ 净重:180 kg 


设备尺寸.jpg


认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

图片1.png


承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)


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