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主要技术特点
·工作可靠
CY-SPX无油真空泵在半导体、航空航天、石油化工、食品药品、电力、能源、环保、汽车、分析测试
仪器等行业生产线上常年连续运行，稳定可靠，为各行业生产和科学研究用户信赖。
·性能优良
对被抽系统无油污染，创造出了洁净的真空环境；
噪音低、振动低、温升低、密封材料性能优异、寿命长达5年，可靠耐用；
排气机构部件互不接触，无摩擦，效率高；没有返油与水蒸汽，也不喷油，节能环保；
极限压力低至1Pa以下，可以替代油旋片真空泵。
·性价比合理
价格合理，节省采购成本；
运动件无摩擦能耗低，配件质优价廉，服务及时可靠，节省运行成本；
*终产品质量好、成品率高、测试指标准确，节省产品生产成本；
不需要冷却水和润滑油，不需要日常维护，节省人工费用。
·应用领域
| | 工业 | 半导体 | 能源石化 | 食品药品 | 科学研究 | 分析测试 |
| 真空封装 存储 | √ | √ | | √ | √ | |
| 真空炉 | √ | √ | | | √ | |
| 排气台 | √ | √ | | | √ | √ |
| 烘箱/冷冻干燥 | √ | √ | √ | √ | √ | |
| 气体回收/再循环 | √ | √ | √ | √ | √ | √ |
| 制冷/空调管路抽真空 | √ | | | | | |
| 制动/管路抽真空 | √ | √ | √ | √ | √ | |
| 激光抽真空 | √ | | | | √ | |
| 分子泵前级 | √ | √ | | √ | √ | √ |
| 工艺预抽真空 | √ | √ | √ | √ | | |
| 镀膜 | √ | √ | | | √ | √ |
| 检漏 | √ | √ | √ | | √ | √ |
| 手套箱 | √ | √ | | √ | √ | |
| 质谱仪 | | | | | √ | √ |
| 电子显微镜 | | | | | √ | √ |
| 高能束线/加速器 | | | | | √ | √ |
| 高真空试验台 | | | | | √ | |
| 样品制备 | | | | | √ | √ |
| 型号 | CY-SP1000 | CY-SP600 | CY-SP300 | CY-SP150 | |||||
| 排气速度 | l/s | 16.6 | 8.7 | 4.3 | 2.0 | ||||
| l/min | 996.0 | 522.0 | 258.0 | 120.0 | |||||
| m3/h | 59.8 | 31.3 | 15.5 | 7.2 | |||||
| cfm | 35.8 | 18.7 | 9.3 | 4.3 | |||||
| 极限真空度 | Pa | ≦1.0 | ≦1.0 | ≦2.6 | ≦8.0 | ||||
| Torr | ≦7.5×10-3 | ≦7.5×10-3 | ≦1.9×10-2 | ≦6.0×10-2 | |||||
| mbar | ≦1.0×10-2 | ≦1.0×10-2 | ≦2.6×10-2 | ≦8.0×10-2 | |||||
| psi | ≦1.4×10-4 | ≦1.4×10-4 | ≦3.8×10-4 | ≦1.2×10-3 | |||||
| 噪音值 | dB(A) | ≦63 | ≦63 | ≦63 | ≦57 | ||||
| 漏率（排气口和气镇阀关） | 1×10-5Pa·m3/s | ||||||||
| *大进/排气压力 | MPa | 0.1 /0.13 | |||||||
| 工作环境温度 | ℃/℉ | 5～40/41～104 | |||||||
| *大水分处理能力 | G/h | 60 | 50 | ||||||
| 电机 | 输出功率 | kW/hp | 1.50/2.00 | 0.75/1.00 | 0.55/0.74 | 0.25/0.33 | |||
| 工作电压 | VAC | 380/220 | 380/220 | 220 | 380/220 | 220 | 380/220 | 220 | |
| 转速 | rpm | 1410 | |||||||
| 进/排气口尺寸 | mm | KF40/16×2 | KF40/16 | KF25/16 | KF25/16 | ||||
| 重量 | kg | 52 | 36 | 32 | 18 | ||||
| 冷却方式 | 风冷 | ||||||||
| 其他 | 带气镇阀 | ||||||||
