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该设备可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。该三靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比，其不仅应用广泛，且具有体积小便于操作的优点，是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。
镀膜仪配有两路高精度质量流量计，客户若另有需求可以定制至多四路质量流量计的气路，以满足复杂的气体环境构建需求；仪器标配*的涡轮分子泵组，极限真空可达1.0E-5Pa，同时另有其他类型的分子泵可供选购。分子泵的气路由多个电磁阀控制，可以实现在不关泵的情况下打开腔体取出样品，大大提高了您的工作效率。本产品可以选配一体机工控电脑对系统进行控制，在电脑程序上可以实现真空泵组的控制、溅射电源的控制等绝大多数功能，可以进一步提高您的实验效率。
| 三靶磁控溅射镀膜仪(直流电源+射频电源) | ||||
| 样品台 | 尺寸 | φ140mm | 控温精度 | ±1℃ |
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| 加热温度 | *高500℃ | 转速 | 1-20rpm可调 |
| 磁控溅射头 | 数量 | 2” x3 （1”,2”可选） | 水冷机规格 | 10L/min流速的循环水冷机 |
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| 冷却方式 | 水冷 |
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| 真空腔体 | 腔体尺寸 | Dia.300mm×300mm | 观察窗口 | φ100mm |
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| 腔体材料 | 不锈钢 | 开启方式 | 上顶开式 |
| 质量流量计 | 2路；量程100sccm；100sccm（可根据客户需要定制多路气路） | |||
| 真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | 抽气接口 | CF160 |
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| 分子泵 | CY-600 | 排气接口 | KF40 |
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| 前极泵 | 旋片泵 | 真空测量 | 复合真空计 |
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| 极限真空 | 1.0E-5Pa | 供电电源 | AC;220V 50/60Hz |
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| 抽气速率 | 分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-3Pa | ||
| 电源配置 | 数量 | 直流电源x2 射频电源 x1 | *大输出功率 | 直流电源500W 射频电源500W |
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其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 600mm X 650mm X 1280mm |
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| 整机功率 | 4KW | 整机重量 | 300kg |
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| 极限真空度 | 1.0E-5Pa |
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