晶圆清洗机

晶圆清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-07-10 11:02:16
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昆山日阳电子科技有限公司

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产品简介

自动清洗机是专门应用于晶圆、QFN、玻璃、基板、手机模组和陶瓷等切 割后的清洗设备,此系列为二流体清洗方案。采用可编程控制器+全彩色触摸操 作屏为控制系统,整机性能更加稳定、操作使用更便捷。

详细介绍

产品特点  /PRODUCT ADVANTAGES

产品功能、特点 

采用的二流体清洗方案,二流体水气比可调

具有中心定点和半径往复两种清洗方式,程序可自由设定

采用离心式自动夹紧锁扣装置

旋转轴采用用于航空业密封技术,性能安装可靠,真空泄露量小于1%

具有全自动上下料功能,并且双手臂作业方式极大提升了作业效率

清洗、吹干、甩干等工艺流程,程序内可自由组合设定

程序数量不受限制,可满足各种产品清洗的要求

配备条码扫描枪功能,可通过扫描枪选择产品所需清洗程序

各个携带产品运动机构均有配备静电消除器

可选配增加HEPA功能

产品参数  /PRODUCT ADVANTAGES

产品功能、特点 

SpecificationFCS-3000 单位备注
规格参数
适用产品尺寸8~12Inch
清洗方式二流体清洗- 
工作盘转速范围200~3000 rpm
清洗和甩干时间范围1~999s
机器尺寸1180 x 1280 x 1800mm
电源单相 AC 220V
动力功率5KW
压缩空气0.5-0.8MPa
氮气 0.3-0.5MPa
超纯水0.3-0.5MPa
设备重量 500Kg


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