激光平面干涉仪

激光平面干涉仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-04-26 15:18:35
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北京艾姆希半导体科技有限公司

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产品简介

激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器,主要用于精密测量光学平面度。该仪器可用于光学车间、实验室、计量室。

详细介绍

  • 测量方式:斐索干涉原理            
    通光口径:60mm                 
    测试波长:635nm(半导体激光器)   
    对准方式:简单两点对准             
    对准视场:±0.5度                  
    平面标准镜精度:PV:λ/10
  • 适用的材料包括:
    • 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
    • III-V材料(GaAs、InP、GaSb等)
    • 第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
    • 红外材料(CZT、MCT等)
    • 光电材料(LiNbO₃、LiTaO₃、SiO₂等)
    • 金属材料(Au、Cu、Al、Mo、TC4等)
  • 应用的范围包括:
    • MEMS
    • 半导体器件
    • 半导体衬底
    • 封装
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