名称

水平真空坩埚炉VBF-1200X-H8

主要参数

温度：1200℃（<30min），≦1150℃（长期）  

推荐升温速率：≤10℃/min

输入电源：AC220V 50Hz 单相  

功率：3KW   

腔体尺寸

石英腔体: Φ200×340mm

石英腔可更换

加热元件

Ni-Cr-Al电阻丝

热电偶

K型

温控系统

l包含一款YD518P型温度控制器

lPID自动控温系统

l智能化30段可编程控制

l内置过热保护和热电偶故障报警

l控温精度：±1℃

l默认DB9 PC通信连接端口

l通过MET认证

可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温控系统（可选）

l可选购欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到±0.1℃

l具体详情请致电我公司销售   

真空法兰

l前门采用安装在炉体上的可开启式铰链法兰密封。

1.不锈钢密封法兰上设置有两个1/4英寸铠装口（图a）

2.可选配热偶通过Ф1/4"的铠装口插入到石英腔体内，靠近样品附近可测量样品的真实温度（图b）

3.标配有一块氧化铝泡沫陶瓷管堵（图c）和一个石英平台（图d）  

图a	图b	图c	图d

可选

l设备上有一个进气接口 (1/4"卡套接头)，同时可选购一根石英管（Φ6.35mm）直接将反应气体通入到样品处。

l可选购一根1/4英寸的铠装热偶，通过铠装孔伸入到样品附近来测量样品的真实温度。

l可选购石英管堵，能提高腔体的洁净度，可帮助获得更高的真空度。

l可选购4电极（铂丝），用于测量样品在高温环境下的阻值。

石英管堵	4电极（铂丝）

气体流量控制系统

l在炉体左侧设置有一个1/4"宝塔嘴进气口(点击左边的图片)

l腔体内充入气体的正压小于0.12MPa

l惰性气体可通过进气口进入腔室清洗腔体

l如果您需要连续的进气，请选购装配其他类型的进气口和热电偶探头，同时可以选购气体流量控制系统,来控制气体混合比例或是流量大小。

(注意: 我司并不推荐我们的产品在恶劣的环境中使用。如在恶劣环境中使用造成的损害,我公司不承担责任。石英管采用负压真空管密封设计，管内可处于微正压但，要小于0.02MPa以下)

水冷机

l水冷夹层设计是为了控制法兰总成温度<300℃，避免高温硅胶密封圈熔化。

l通过两根Ф12mm水管连接到水冷机

l设备使用水冷时，冷却水的压力要≤0.2MPa

真空压力表

l标配一个机械压力表，测量范围从-0.1到0.15 MPa

l可选配防腐型数显真空表，测量范围为3.8×10E -5至1125 Torr。除了具有较高的精度和重复性及较短的响应时间外，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而需要系数转换，从而有效降低了因读数不准而导致的室内爆炸风险。

真空度

l真空度取决于使用的真空泵，纹管，机械泵和KF25球阀连接到该炉上抽真空可以达到真空水平以下连接管，内部耐火材料性能等等。通过将KFD25手动挡板阀，不锈钢波:

1.腔体不放管堵室温：10 mtorr(10E-2Torr)通过机械泵抽30min

2.腔体放管堵900℃：60 mtorr(6×10E-2Torr)通过机械泵抽30min

l可选:

1.机械泵和波纹管不包括在标配内，请点击下图分别选购

2.可选购KF25手动挡板阀，可用于快速连接到水平坩埚炉上

3.为了达到更高的真空度，可选购一个分子泵

4.对于易损耗件高温硅胶O型密封圈除了标配数量外可进行额外订购

混气系统（可选）

极限真空度

外形尺寸

540mm L×540mm W x700mm H

净重

80Kg

保修期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

       2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

警告

l炉管内气压不可高于0.02MPa

l由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。

l当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态，否则炉管会出现变形情况。

l进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

l石英管的长时间使用温度＜1100℃。

l对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）