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半导体材料气体检测仪器cosmos新宇宙naitokikai

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产品简介

检测对象H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3检测浓度1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm检测原理专线型半导体式采样方式自动吸引式应用行业半导体制造

产品描述：半导体材料气体检测

可检测微量的半导体材料气体泄漏，可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测，

也可对氢气相关设备提供**保障。

01.产品特点

· 小型·轻量

· 可以检查非常微量的气体泄漏

· 适合氢气相关设备的**防护

· 搭载的泵有自动停止功能

· 搭载[自动气体排气模式]功能

· 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时

02.产品用途

· 半导体工厂/石油化学工厂等

· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

03.产品参数

XP-703DⅢ产品参数.jpg

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