产品特点：

　　该系统是一款可以控制多种气体按不同流量进行混合配比的供气系统，气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质量流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质量流量计显示板安装在同一面板上，每一条气体管路均有一个高压截止阀。各通道气体流量设定和状态显示都集中在PLC触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

　　技术参数：

　　1.气路通道：多通道（可根据客户需要确定）    

　　 2.气体类型：客户可以根据自己的要求任意选择气体。

　　3.流量计标准量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意选择量程)

　　4.工作电压：220V 50HZ

　　5.工作温度：5-45℃

　　6.工作压差：0.1~0.5MPa

　　7.压力：3MPa

　　8.准确度：±1.0%F.S.  

　　9.质量流量计相应时间：1S

　　10.测量范围：0.1MPa-0.15MPa

　　11.混气罐：304不锈钢  

　　12.进出气接口：采用φ不锈钢卡套接头

　　13.管道：内部管道为6mm不锈钢管 外部管道为6mm聚四氟管

　　14.尺寸：650X650X650mm

　　15.控制面板：每路气路设定和查看都集中在PLC触摸屏上可通过PLC设定每个通道的气体流量，实时查看各通道的流量曲线和设定数据