EBICEBIC扫描电镜电子束感生电流放大器及成像系统
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EBIC扫描电镜电子束感生电流放大器及成像系统
Deben旗下KED出品的EBIC，是一款样品电流和电子束感生电流测量放大器，可进行吸收电流测量、吸收电流成像和电子束感生电流成像，可用偏压样品。执行EBIC成像所需的设备是扫描电子显微镜、EBIC放大器和电真空馈通。从电子束注入的电子打破半导体均衡状态，产生电子/空穴对，EBIC信号主要是从嵌入的扩散层(晶体管和二极管)产生，通过放大电子束产生的感生电流或电压，便可由该效应形成SEM监视图像。
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