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产品介绍
ZEM18台式扫描电镜信号采集带宽高达10M,扫描速度快,视频模式下实时观察样品,无重影、拖影,不错过每一个细节。兼容多种原位功能样品台(拉伸台、加热台、TEC冷台等原位测试系统)
产品参数
环境要求:AC 220V,50Hz,1kW,无需减震台
加速电压:3kV~18kV连续可调,1kV步进
电子枪:预对中钨灯丝,一体式聚光镜,无需手动调节物镜光阑
放大倍数:500 --150000倍
探测器:二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪
样品台行程:XY 两轴电动 行程:30 mm×30 mm
样品尺寸:Φ50×35(H)mm
工作距离:5-35mm
真空模式
高真空模式:抽真空时间小于90s
低真空模式:选配,低真空1-100Pa自动控制
成像模式
视频模式:512x 512像素,无需小窗口扫描;
快速模式:扫描时间小于3秒,512 x 512像素;
慢扫模式:扫描时间小于40秒,2048 × 2048像素;
图像格式:BMP, TIFF,JPEG,PNG
导航功能:光学CCD导航
自动功能:一键自动配置亮度、对比度、聚焦
尺寸:主机283×553×505 mm 机械泵340×160×140 mm