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| 型号 参数 | ZR-35-12L | ZR-20-12L | ZR-9-14L | ZR-10-12L | ZR-40-12L | ZR-18-9W | ZR-20-12W |
| 配置 | |||||||
| 类型 | 立式 | 立式 | 井式 | 井式 | 立式双位 | 卧式 | 卧式 |
| 机组 | 机械泵 | 机械泵 | 机械泵 | 机械泵 | 机械泵 | 机械泵 | 机械泵 |
| 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | |
| | | | 离子泵 | | | | |
| 极限真空 | 5 * 10-5 Pa | 5 * 10-5Pa | 5 * 10-5Pa | 2 * 10-5Pa | 5 * 10-5Pa | 5 * 10-5Pa | 5 * 10-5Pa |
| 有效加热区 | φ350*600 | φ280*300 | φ120*150 | φ150*150 | φ280*300 | φ300*350 | 200*300*300 |
| 温度 | 1200℃ | 1300℃ | 1300℃ | 1150℃ | 1200℃ | 900℃ | 1200℃ |
| 工作真空度 | 8*10-4Pa | 8*10-4Pa | 8*10-4Pa | 7.5*10-5Pa | 8*10-4Pa | 8*10-4Pa | 8*10-4Pa |
| 控制类型 | 手动+自动 | 手动+自动 | 手动+自动 | 手动+自动 | 手动+自动 | 手动+自动 | 手动+自动 |
| 功率 | 35KW | 20KW | 9KW | 10KW | 40KW | 18KW | 20KW |
| ZR-真空炉 20-20KW 12-1200 L-立式 W-卧式 | |||||||
