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管式电阻炉厂家介绍:
这款CVD系统集真空管式炉,多通道气路系统和真空系统组成,可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。CVD管式炉CVD管式炉CVD管式炉
一、1200℃单温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1200-2.5/20 | φ25*450 | 200 | 100 | φ25 | 1200 | 1100 | 1.7 | 220 |
HTF1200-5/20 | φ50*450 | 200 | 100 | φ50 | 1200 | 1100 | 1.7 | 220 |
HTF1200-6/40 | φ60*1000 | 400 | 150 | φ60 | 1200 | 1100 | 3 | 220 |
HTF1200-8/40 | φ80*1000 | 400 | 150 | φ80 | 1200 | 1100 | 3 | 220 |
HTF1200-10/40 | 100*1000 | 400 | 150 | φ100 | 1200 | 1100 | 3 | 220 |
HTF1200-6/90 | φ60*1400 | 900 | 450 | φ60 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-8/90 | φ80*1400 | 900 | 450 | φ80 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-10/90 | 100*1400 | 900 | 450 | φ100 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-13/90 | 130*1400 | 900 | 450 | φ130 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-15/90 | 150*1400 | 900 | 450 | φ150 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-21/90 | 210*1400 | 900 | 450 | φ210 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
HTF1200-28/90 | 280*1400 | 900 | 450 | φ280 | 1200 | 1100 | 6 | 220 |
二、 1200℃双温区管式炉/管式电阻炉厂家
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1200-6/40-II | φ60*1000 | 400 | 200 | φ60 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-8/40-II | φ80*1000 | 400 | 200 | φ80 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-10/40-II | φ100*1000 | 400 | 200 | φ100 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
三、1200℃三温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1200-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-10/60-III | 100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1200 | 1100 | 4 | 220 |
HTF1200-6/90-III | φ60*1400 | 900 | 600 | φ60 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-8/90-III | φ80*1400 | 900 | 600 | φ80 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-10/90-III | φ100*1400 | 900 | 600 | φ100 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-13/90-III | φ130*1400 | 900 | 600 | φ130 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-15/90-III | φ150*1400 | 900 | 600 | φ150 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-21/90-III | φ210*1400 | 900 | 600 | φ210 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-28/90-III | φ280*1400 | 900 | 600 | φ280 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
四、1200℃五温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1200-6/90-V | φ60*1400 | 900 | 750 | φ60 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-8/90-V | φ80*1400 | 900 | 750 | φ80 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-10/90-V | φ100*1400 | 900 | 750 | φ100 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-13/90-V | φ130*1400 | 900 | 750 | φ130 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-15/90-V | φ150*1400 | 900 | 750 | φ150 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-21/90-V | φ210*1400 | 900 | 750 | φ210 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
HTF1200-28/90-V | φ280*1400 | 900 | 750 | φ280 | 1200 | 1100 | 9 | 220 |
五、1400℃单温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1400-6/30 | φ60*1000 | 300 | 150 | φ60 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-8/30 | φ80*1000 | 300 | 150 | φ80 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-10/30 | φ100*1000 | 300 | 150 | φ100 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
备注:可定制为开启式
六、1400℃双温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1400-6/40-II | φ60*1000 | 200+200 | 250 | φ60 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-8/40-II | φ80*1000 | 200+200 | 250 | φ80 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
HTF1400-10/40-II | φ100*1000 | 200+200 | 250 | φ100 | 1400 | 1300 | 7 | 220 |
备注:可定制为开启式
七、1400℃三温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1400-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1400 | 1300 | 9 | 220 |
HTF1400-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1400 | 1300 | 9 | 220 |
HTF1400-10/40-III | φ100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1400 | 1300 | 9 | 220 |
备注:可定制为开启式
八、1600℃单温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1600-6/30 | φ60*1000 | 300 | 150 | φ60 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-8/30 | φ80*1000 | 300 | 150 | φ80 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-10/30 | φ100*1000 | 300 | 150 | φ100 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
备注:可定制为开启式
九、1600℃双温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1600-6/40-II | φ60*1000 | 400 | 250 | φ60 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-8/40-II | φ80*1000 | 400 | 250 | φ80 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
HTF1600-10/40-II | φ100*1000 | 400 | 250 | φ100 | 1600 | 1500 | 7 | 220 |
备注:可定制为开启式
十、1600℃三温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1600-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1600 | 1500 | 9 | 220 |
HTF1600-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1600 | 1500 | 9 | 220 |
HTF1600-10/60-III | φ100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1600 | 1500 | 9 | 220 |
备注:可定制为开启式
十一、1700℃单温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1700-6/30 | φ60*1000 | 300 | 150 | φ60 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
HTF1700-8/30 | φ80*1000 | 300 | 150 | φ80 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
备注:可定制为开启式
十二、1700℃双温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1700-6/40-II | φ60*1000 | 400 | 250 | φ60 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
HTF1700-8/40-II | φ80*1000 | 400 | 250 | φ80 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
HTF1700-10/40-II | φ100*1000 | 400 | 250 | φ100 | 1700 | 1600 | 7 | 220 |
备注:可定制为开启式
十三、1700℃三温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1700-6/60-III | φ60*1200 | 600 | 450 | φ60 | 1700 | 1600 | 9 | 220 |
HTF1700-8/60-III | φ80*1200 | 600 | 450 | φ80 | 1700 | 1600 | 9 | 220 |
HTF1700-10/60-III | φ100*1200 | 600 | 450 | φ100 | 1700 | 1600 | 9 | 220 |
备注:可定制为开启式
十四、1750℃单温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1750-5/20 | φ50*800 | 200 | 100 | φ50 | 1750 | 1700 | 4 | 220 |
HTF1750-6/20 | φ60*800 | 200 | 100 | φ60 | 1750 | 1700 | 4 | 220 |
备注:可定制为开启式
十五、1800℃单温区管式炉
型号 | 炉管尺寸(mm) | 加热区长度(mm) | 恒温区长度(mm) | 加热区外径(mm) | zui高加热温度(℃) | 持续工作温度(℃) | 额定功率(kw) | 工作电源(V) |
HTF1800-5/20 | φ50*800 | 200 | 100 | φ50 | 1800 | 1750 | 4 | 220 |
HTF1800-6/20 | φ60*800 | 200 | 100 | φ60 | 1800 | 1750 | 4 | 220 |
本公司可定制各种CVD系统。