CVD系统由供气系统+双温区管式炉+抽气系统组成 ，温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

这款CVD系统是由8路供气系统KTL1700-1700双温区管式炉+真空系统组成

KTL1700-1700 双温区管式炉:以1800型硅钼棒和硅碳棒为加热元件，有两个加热区，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，每个加热区能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端装有不锈钢法兰，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，该炉为卧式，两个温区可以独立控制、设置不同的温度，使用方便，操作简单，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

（1）、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。

（2）、采用的是热弯技术，电阻均匀，使用寿命长

（3）、Lu冷端长度为210mm， 400X300X300炉子为260 ，一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低

（4）、硅钼棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护硅钼棒。

当电路过流或漏电时，空开会自动断开

该气氛管式炉可配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出

（1）、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。

（2）、采用成型。

（3）、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。

（4）、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强  

（5）、炉膛表面光洁、不易掉粉。

（全部通过UL认证的进口电器）

1、移相触发（带软启动和限流功能）

2、限流功能：无论怎么样设置升温速率，我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内，有效的保护了设备。由于采用限流功能，高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制（例如：规定在1400℃后不

得超过3℃/min等）即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大，设备会跳闸或烧坏。

3、软启动功能：开机时电流会慢慢增大，对加热元件的冲击较小，有利于加热元件寿命的延长

4、保护功能：如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。

1、变压器电缆为纯铜

2、变压器声音小

3、变压器温身低