新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体泄漏检测
检测对象：H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3
检测浓度：1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm
检测原理：热线型半导体式
采样方式：自动吸引式
应用行业：半导体制造

产品描述：半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小型·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● 氢气相关设备的保安
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22（JIS C 0920）※安装皮套时

新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体泄漏检测产品用途
半导体工厂/石油化学工厂等
在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

新宇宙cosmos XP-703DⅢ半导体材料气体泄漏检测产品参数

型号	XP-703DⅢ
检测对象气体	H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3
检测原理	热线型半导体式
采集方式	自动吸引式
可检测泄漏量	H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7
可检测浓度	H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7
反应时间	10秒以内
显示方式	液晶数字（手动背景灯）
电源（额定）	5号碱性干电池（LR6）  2节
电池使用时间※1	约12小时（5号碱性干电池、25℃时）
保护等级※2	相当于IP22※3
使用压力范围	大气压（800～1100kpa）
使用温湿度范围	0～40℃/85%RH以下（但不能结露）
外形尺寸	W38×H130×D32㎜（突出部分除外）
重量	约190g（包括电池、皮套）