名称

OTF-1100X-15-III

炉体结构

双层壳体结构，并带有风冷系统，壳体表面温度低于70℃。

采用氧化铝纤维作为炉膛材料。

加热元件：Sic棒。

设备中配有2个氧化铝管堵，以保障炉膛内部温度均匀性（炉体加热前，管堵必须放入炉管内部）。

此管式炉可作为退火或扩散管式炉（6英寸或8英寸晶片可用特殊使用支架装载）。

电动开启式设计，使得用户操作更加简便。

结构图 氧化铝管堵 结晶装载 电动开启

加热区

总加热区长度：1000mm

三个加热区：330mm+330mm+330mm（12” per zone）

工作温度

工作温度：1100℃。

加热速率：10℃/min。

加热元件：Sic棒（36根）

温控系统

控温精度为：±0.5℃

炉管

15英寸高纯石英炉管：尺寸：400mm O.D×388mm I.D×1860mm L。

注意：石英炉管易碎，操作需谨慎。

真空密封&法兰

一对不锈钢真空密封法兰（铰链式），4个硅胶密封圈，可是炉管真空度达到10∧-3torr（采用机械泵抽真空）。

左端法兰：安装有不锈钢针阀，φ6.35的进气口。

右端法兰：KF40真空泵接口φ6.35铠装接口（用于热偶插入到炉管内，测量炉管内温度和进行温度校准）。

可选

此管式炉需定期校准，以保证温度的准确性和均匀性，我们可提供简单的校准工具：

1根1200mm的K型铠装热偶。

1个Omega温度校准仪表。

此型号管式炉只可选机械泵，且顶真空度只能够抽到-0.05MPa，否则可能正常炉管损坏。

4”~8”晶片石英支架。

可与手套箱系统联用，实现氧敏感性材料的烧结制备。

电压

三相380V，50/60Hz

额定功率

20KW

产品尺寸

2300 L×1500 W×1400 H mm

净重

300Kg

质保期

一年质保期，终生维护（不包含炉管，加热元件和密封圈）

质量认证

CE认证。

所有电器元件（输入电源大于24V）都通过了UL/MET/CSA

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