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技术参数:
双倒置磁控管设计
量程: 1×10-7 ~一个大气压
精度: 1×10-6~1×1Pa 30%读数
1 ~1×104 Pa 15%读数
104 ~105 Pa 50%读数
重复性精度:±5%读数
工作温度:5~55℃
烘烤温度:150℃
模拟输出:0-10.5V
供电:14.5~30V
单位mbar,Torr可选
安装方向:任意
应用:
1)基本压力监视和控制,在蒸发和溅射
镀膜应用中从大气压到高真空。
2)一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、
半导体、冰箱和空调。
3)分析和研发应用 – 质谱分析、
电子显微镜、医疗、眼科、光学和
高能物理