桌面型/桌子型、主动气浮隔振光学平台（ME40 series）
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上海昊量光电设备有限公司
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产品简介
紧凑的机身集成了6 自由度的主动除振机构，可提供以往的被动型无法实现的振动环境。这款机器可以很大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及高分解能。
产品特点
6 自由度主动控制
丰富的尺寸变化
只需要接通电源即可使用
自动主动调整 & 自动水平调整
应用领域
扫描探针显微镜（SPM），共聚焦激光显微镜，干涉仪系统，三维形状测量机，激光位移测量系统，其他精密测量和精密加工机。
主要规格和参数表
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