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主要特点：
清洗效率高（射频功率50W）
等离子体和紫外线双重清洗
高真空模式下运行，真空范围大
无损清洗
无需特殊气源
兼容SEM、FIB等设备
| 操作方式 | 桌面按钮控制 |
| 远程遥控 | 支持安卓平板电脑或蓝牙控制 |
| 尺寸 | 44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D) |
| 射频功率 | 20 - 75 W (13.56 MHz RFHC) |
| 电源 | 100 – 240 VAC 50/60 Hz |
| 标准 | 符合RoHS标准 |
