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MILA-700AR风冷桌面型快速退火炉
MILA-700AR是一款风冷桌面型的快速退火炉。相较于MILA-5000，该设备加热过程中不需要外接水冷，可由设备自身配置的风冷系统进行降温。
| 应用 | 特点： |
| 1. 晶圆，复合晶圆的快速加热 | 1. 50°C / s快加热 |
| 2. 光化学气相沉积衬底加热 | 2. 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热 |
| 3. 热循环测试 | 3. 精确的温度控制 |
| 4. 涂膜的耐热性评估 | 4. 紧凑的台式设计，工作无需匹配水冷循环系统 |
| 5. 有机材料和树脂的加热和干燥 |
参数
