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实现了比以往机型提高20倍以上的高灵敏度。配合株式会社日立科学独自开发的高计数率检测器[Vortex]和[精度管理型测量软件]后,较以往机型可平均缩短1/10的测量时间。
安装了不含液氮的15万CPS高帧率检测器(Vortex),拥有了远远超过以往使用液氮检测器时的灵敏度及分辨率。
通过一枚复合的通用滤波器能够一次性将RoHS管理的5种元素测量。相比测量时间短的EA1200VX,能够进一步缩短测量时间。
由于可以在真空环境下测量,所以测量范围扩大到Na~U。(轻元素测量选配)。也可测量氯的高灵敏度。
采用1 mmΦX射线光束,进行印刷基板等任何微小部分的修正、定量。
仅仅通过最多可进行12个样品连续测量的自动进样器,能实现不同测定条件下样品的连续测量。当然,430×320 mm的大型样品也可直接进行测量。