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汉钟PD变距系列干式螺杆真空泵主要特点:
汉钟螺杆真空泵排气路径短,减少反应物沉积
hanbell干式螺杆真空泵相较于其他形式的真空泵,因气体于泵内的传输路径最短,最不易产生反应物沉积的现象。
汉钟螺杆真空泵线形密封性佳,泵浦性能
Hanbell干式螺杆真空泵,转子密封线形,转子密封性佳,转子能以较大的啮合间隙达到更快的抽气效果,由于汉钟真空泵的啮合间隙较大,泵浦较不易因制程气体沉积而卡死,转子也较不易因磨耗而需更换。
汉钟螺杆真空泵结构简单,故障率低,维护容易
Hanbell干式螺杆真空泵因只需要利用一对转子相互啮合达到密封效果,结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计,降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯,拆卸维修也比较容易,因此能缩短维修时程,降低维修费用。
汉钟螺杆真空泵微电脑操作,远端监控,保护周全
Hanbell干式螺杆泵微电脑控制器提供真空最简易的操作方式并能显示真空泵完整的运转状态,方便使用者对泵应用状态进行调整,在真空泵产生问题前进行预防保养。远端监控系统能够提供使用者方便的监控工具,使用者不需到现场就能够了解真空泵的运行状态。
汉钟螺杆真空泵典型应用:
面板TFT-LCD, Touch Panel
太阳能Solar
冶金系统Metallurgical System
镀膜Coating
电浆制程Plasma processes
干燥处理Drying Process
制程气体抽取Degassing
生技/制药Biotech/Pharmaceutical
化工产业Chemical Industry
锂电池Battery
机型Model | 单位Unit | PDF110 | PD120 | PD300 | PD400 | PD650 | PD800 | |||
抽气速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) | l/min | 1800 | 1667/2000 | 4167/5000 | 5556/6667 | 9030/10840 | 11011/13233 | |||
m3/hr | 110 | 100/120 | 250/300 | 333/400 | 540/650 | 680/800 | ||||
Cfm | 65 | 59/71 | 147/176 | 196/236 | 317/382 | 393/471 | ||||
压力 Ultimate Pressure | Torr | ≤7.5*10-3 | ||||||||
mbar | ≤1*10-2 | |||||||||
Pa | ≤1 | |||||||||
马达 Motor | 频率Frequency | Hz | 50/60 | |||||||
电压Voltage | V | 220-440 | ||||||||
额定功率 Rated Power | Hp | 3 | 4/4.8 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |||
kW | 2.2 | 2.98/3.58 | 6.7/7.5 | 11/15 | 18.5/22 | 18.5/22 | ||||
连接 Connection | 进气口Inlet |
| NW50 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ISO100 | ISO100 | ||
排气口Outlet |
| NW25 | NW40 | NW40 | NW40 | ISO63 | ISO63 | |||
冷却水 Cooling Water | 接头Connection | RC3/8 | ||||||||
压力Pressure | Mpa | 0.2—0.4 | ||||||||
温度temperature | ℃ | 25 | 3slm18℃-6slm28℃ |
6slm18℃-15slm28℃ | ||||||
流量 Flow | l/min | 1 | ||||||||
氮气 N2 | 压力Purge Pressure | MPa | 0.15-0.2 | |||||||
稀释流量 Dilute flow | L/min | By process | ||||||||
密封流量 Sealing foow | L/min | 10 | ||||||||
接头Connection |
| Swagelok 1/4" | Swagelok 3/8" | |||||||
尺寸Dim. | 长×宽×高L×W×H | mm | 398*358*551 | 814*380*663 | 1075*430*650 | 1582*700*757 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | ||
重量Weight | Kg | 132 | 280 | 390 | 750 | 1050 | 1050 | |||
噪音Noise | dB(A) | ≤68 | ≤66 | ≤70 | ≤72 | ≤75 | ≤75 | |||
系统漏率 System Max. Leak-rate | mbar.l/s | 1*10-5 | ||||||||
室温操作范围Operation Temp. | ℃ | 5-40 | ||||||||
操作湿度Operation Moisture | RH | 90%以上 | ||||||||