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半导体材料气体 xps-7
特点：
¬ 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
¬ 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
¬ 大幅度削减成本和维护时间
| 型号 | XPS-7 |
| 检测原理 | 定电位电解式 |
| 检测气体对象 | 半导体材料气体及臭氧等 |
| 指示范围 | 根据要求 |
| 分辨率 | 、硅烷氯、气氨气等0.1ppm,磷烷0.01ppm |
| 指示精度 | 按气体不同精度有所不同 |
| 报警模式 | 2段报警方式 |
| 报警方式 | 蜂鸣器(间歇音)、报警灯闪烁 |
| 应答时间 | 60秒以内(60%应答) |
| 电源 | 5号碱性干电池4节或AC专用变压器 |
| 电池使用时间 | 连续12小时以上 |
| 外型尺寸 | W762×H150×D128(除去突起物) |
| 检测方式 | 泵吸式 |
| 使用温度范围 | 0℃～40℃ |
| 重量 | 约1.3kg |
| 附件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张 |
| 选购件 | AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件 |
检测气体一览表：
| XPS-7对象气体一览表 |
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| 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
| XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
| XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
| XPS-7DC | SiHCL3 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XPS-7AS | AsH3 | 250ppb | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 1ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XPS-7BH | B2H6 | 500ppb | XPS-7HF | BF3 | 1PPM | XPS-7NO | NO | 100ppm |
| XPS-7SE | H2Se | 250ppb | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |
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