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[主要产品规格] | |
可测量元素 | 原子序数13(Al)~83(Bi) |
X射线聚光 聚光方式 | X射线源 |
管电压 | 50kV |
管电流 | 1mA |
检测器 | Vortex®检测器(无需液氮) |
分析范围 | Φ0.1mm、Φ5mm |
样品观察 | 彩色CCD摄像头(附变焦功能) |
滤波器 | 3种模式自动切换 |
样品平台 | 175(W)×240(D)mm |
移动量 | X:220mm Y:150mm Z:150mm |
载重量 | 10kg |
重量 | 123kg(不含电脑) |
X-ray Station | 台式电脑 19"LCD (OS; Microsoft-Windows XP®) |
膜厚测量软件 | 薄膜FP法(最多五层,各层十种元素) 检量线法(单层、双层、合金膜厚成分) |
定量分析功能 | 块体FP法 |
统计处理功能 | Microsoft-EXCEL® |
报告制作 | Microsoft-WORD® |
安装环境 | 温度:10℃~35℃(±)5℃ 湿度:35%~80% |
使用电源 | 接地三头插座 AC100、15A |