关键词：多靶磁控溅射、共溅射、Co-sputter、金属膜、氧化膜、半导体膜、非金属膜、约瑟夫森结、

                超导、量子器件、量子比特、 Qubit、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、

                 sputtering system、Josephson junction

产地：欧洲；   型号：MP700S;     应用：超导量子结制备、薄膜沉积。

磁控溅射镀膜系统可以沉积各种金属、半导体、非金属薄膜，又特别适合用于超导量子结、约瑟夫森结等量子器件的制备，例如：超导Nb、NbN、NbTiN等，MP700S磁控溅射系统专门用于超导约瑟夫森结的制备，其特点如下：

使用该设备能够制备高品质、重复性好的约瑟夫森结，因而深受超导量子器件研究小组的推崇。目前包括：格拉斯哥大学、法国波尔多大学、法国科学研究中心（CNRS）、法国原子能委员会（CEA）、加拿大滑铁卢大学、清华大学等单位均在使用PLASSYS公司同类设备。 

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