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电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
电阻炉采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术，能在高温条件下长时间稳定使用，也可采用感应加热方式；
可选配全密闭马弗，密封效果好，抗污染能力强；
多级高效尾气处理系统，环境友好，易清理；
适于工艺气氛：真空/CH4/NH3/H2/N2/Ar/空气。
| 参数\\型号 | VVP-0608 | VVP-1015 | VVP-1120 | VVP-1520 | VVP-2230 |
| 工作区尺寸 D×H（mm） | 600×800 | 1000×1500 | 1100×2000 | 1500×2000 | 2200×3000 |
| gao温度（℃） | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±10 | ±10 | ±15 | ±15 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 感应 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
