立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

VCVD-0305-SIC立式化学气相沉积炉(SiC、BN)

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2020-09-07 17:00:55
450
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湖南顶立科技有限公司

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产品简介

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等

详细介绍

 

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)产品规格

参数\\型号VCVD-0305-SICVCVD-0608-SICVCVD-0812-SICVCVD-1120-SICVCVD-1520-SIC
工作区尺寸D×H(mm)300×500600×800800×12001100×20001500×2000
gao温度(℃)15001500150015001500
温度均匀性(℃)±5±7.5±7.5±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

 

立式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

结构形式:卧式-单开门/shuang开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度号

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组

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