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海目星首条Micro LED中试线顺利出货,点亮显示新“境”界

2024-08-05 15:08:54673
来源:海目星激光 作者:潘凤仪
  近日,海目星首条Micro LED中试线顺利出货,涵盖Micro LED巨量转移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修复等设备,并已完成厂内FAT验收,产线效率达25-100kk/h,制程良率达99.99%以上,实现≤50μm的Micro LED芯片应用要求。
 
  Micro LED中试线的顺利出货标志着海目星已全面打通显示科技成果转化应用的“最后一公里”,正在不断加速Micro LED显示技术迭代、工艺创新和大规模量产的进程。
 

 

  随着5G、人工智能等新一轮科技革命的浪潮,显示技术正以前所未有的速度向前演进。2024年,Micro LED进入技术研发的大年,在车载显示、商显、常规消费电子和VR/AR/MR等不同领域展现出巨大的市场增量和应用潜能。
 
  工欲善其事,必先利其器。作为下一代主流显示技术,Micro/Mini LED前景广阔,但量产仍面临着巨量转移、焊接精度、生产良率、检测返修等诸多难题。要想实现大规模量产,并赶超国际领先水平,研发优质显示智造装备已成必要前提。当下,头部Micro/Mini LED显示智造设备供应商正全力研发,通过持续创新突破技术瓶颈,构建差异化竞争优势,为新显产业高质量发展注入新动能。
 

 

  海目星凭借强大的研发实力和对市场的洞察力,迅速在Micro LED设备领域进行前瞻性布局,业内率先实现Micro/Mini LED切割、转移、键合、检测和修复等行业关键工艺覆盖,并持续攻克芯片段、显示模组段、显示集成段工艺制程中的重难点,助推Micro LED技术变革和新显关键设备国产自主化。
 
  Micro LED激光巨量转移方案
 
  #01
 

 

  海目星逐一突破高速定位、精准对位、激光工艺等关键技术瓶颈,实现高效率、高精度的Micro LED芯⽚巨量转移/单点修复转移解决方案。
 
  在光学系统上,海目星采用固体激光器和自研光学整合系统,显著提高光源系统的稳定性。在运动控制上,海目星自主研发的高精度运动平台,极大提高巨量转移工艺的良率和效率。全段采用模块化兼容设计,配合智能去除修复设备,实现整段制造流程整合,更具量产化的生产优势。
 
  Micro LED激光巨量焊接方案
 
  #02
 

 

  海目星应用匀化达95%以上的红外光源,搭配高精度温控系统、快速视觉对位与自研AI演算法实现大面积、高效率、高可靠性的芯⽚的巨量键合。本制程为使用光斑整形后的线型光斑,将预先排列于玻璃上的LED,通过吸收激光之能量后实现巨量焊接的工艺。
 
  就工艺效果而言,Micro LED巨量焊接设备在完成焊接后,透过目检可看到芯片对位精准,在点亮测试中可实现点亮与控制皆符合制程要求。目前Micro LED巨量焊接设备已实现12”以上基板RGB三色焊接工艺,良率至高达99.99%以上(排除来料芯片等异常)。
 
  Micro LED激光巨量修复方案
 
  #03
 

 

海目星针对Micro LED制程中产生的缺陷,进行胶层、芯片去除与平面度达百纳米级的焊盘修整,以利后续修补制程。
 
  通过⾃主开发的AI整合系统,⾃动识别修补位置,避免因误判造成的修补失败,保证产品安全。同时,匹配微米级光斑对小至5μm的Micro LED的芯片进行去除,不伤及相邻芯片及焊盘与其他层。
 
  经过该设备修整之后,配合后续的补芯与焊接制程,面板点亮良率可达到99.9999%,能够高效可控地解决Micro LED显示面板无法完美修复的问题与痛点。
 
  光耀视界,向新笃行。中国显示产业正从规模扩张阶段迈向全球竞争阶段,面对终极显示技术和产业量产的重重困难,海目星始终聚焦Micro LED的发展生态和多元应用,通过“夯基础、锻长板、补短板”,为加快打造全球新型显示技术创新高地,推动中国光电科技产业迈向更加繁荣和可持续的未来,风雨无阻向前进。
 
  撰稿 | 潘凤仪

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