名          称

参        数

工

作

台

金属台面尺寸（MM）

450 ×320

方形玻璃台面尺寸:（MM）

350X250

X坐标行程:（MM）

300

Y坐标行程：（MM）

200

仪器外形尺寸（长）Х（宽）Х（高） MM：

480Х 650 Х1000

仪器重量（KG）：

200

Z坐标升降行程:（MM）：200MM（调焦）   工作距离（MM）：95MM

X/Y/Z数显分辨率：0.0005MM （0.5UM）   X、Y坐标示值误差：≤（3+L/200）UM

影

像

系

统

摄影机：彩色1/3″CCD摄影机（日本索尼芯片 540线高分辨率工业摄像机）

变焦物镜倍率：0.7～4.5X（同轴光，定格变倍，无需每次校准）

视频总倍率：30X～230X

物方视场：7～1.1MM

传动型式：X、Y、Z轴均采用马达驱动滚珠丝杆传动的型式

计算机自动采样，端口输出，专业软件进行数据分析处理

X、Y轴马达运动速度＜120MM/S   Z轴马达运动速度＜60 MM/S

马达运动步长0.4 MM/步         马达分辨率1000步/转

照  明

程控可调LED表面光和底光（使用全安全电压）

伺服电机

*

电  源

180V（AC）～260V（AC） 50HZ

测量软件

VMS测量软件，可测线、角、圆，随圆、圆心距、角度、高度、平面距、空间距、平整度、球，自动逆向扫描等，自动输出WORD/EXEL/CAD！