1、选择真空泵时需根据被抽气体成分选择相应的泵。如被抽气体中含有可凝蒸汽、颗粒灰尘、以及腐蚀性气体等，则应在进气口管路上安装辅助设备。
    2、在工作的过程中，有时一种泵不能满足抽气要求，这个时候可以选择组合真空泵的方式。
    3、尽量选择对工艺过程及环境没有影响的真空泵，可以采用无振动的泵或增加防振措施！
    4、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
    5、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
    6、了解设备对有污染的要求，如果设备严格要求无油，则应该选择污油泵，如果要求不是很严格，则可选择有油泵，不过在此过程中应做好防油污染措施。
    7、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。
    8、真空泵的价格、运转及维修费用。