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 | 单位 | ZGJ-50-2.5X | ZGJ-100-2.5X | ZGJ-100-8J | ZGJ-100-20X | ZGJ-100-16JA | ZGMJ-100-23 |
| 工作区域 (直径×高度) | mm | Ø130＊300 | Ø350＊650 | Ø350＊650 | Ø260＊400 | Ø400＊500 | Ø310＊800 |
| 工作温度 | oC | 1600 | 16000 | 1600 | 2000 | 1600 | 2300 |
| 工作区温差 | oC | ≤15 | ≤10 | ≤10 | ≤15 | ≤15 | ≤30 |
| 中频电源功率 | Kw | 50 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 |
| 中频电压 | V | 750/375 | 750/375 | 750/375 | 750/375 | 750/375 | 750/375 |
| 频率 | Hz | 2500 | 2500 | 8000 | 2500 | 2500 | 2500 |
| 感应器端电压 | V | 250 | 250 | 250 | 250 | 250 | 250 |
| 极限真空度 | Pa | 6.65 | 2.66 | 2.66 | 6.67＊10-1 | 6.67＊10-3 | 6.67＊10-2 |
| 压升率 | Pa/min | ≤1.33×10－1 | ≤1.33×10－1 | ≤1.33×10－1 | ≤1.33×10－1 | ≤1.33×10－1 | ≤1.33×10－1 |
| 冷却时间 | h | 8-10 | 8-10 | 8-10 | 8-10 | 8-10 | 8-10 |
| 冷却水耗量 | m3/h | 3.6 | 5.4 | 5.4 | 5.4 | 12 | 5.4 |
| 外形尺寸 | m | 3-10＊4.6＊2.0 | 6.0＊4.2＊2.3 | 6.0＊4.2＊2.3 | 8.0＊5.0＊2.3 | 7.8＊5＊3.2 | 5.5＊5.1＊2.2 |
