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产品规格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
分光谱仪艙安装位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）
FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）
分光谱仪尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 从接口包括CCD的距离
分光谱仪重量 25kg
适用机型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
