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效率：对0.12um粒子捕集效率达99.999%以上（计数法）
特点：高效率、低阻力、运行成本低
用途：ULSI制造工厂、半导体制造工厂、超净实验室、研究室等
构成材料：
框 材：铝型材 密 封 胶：聚胺脂胶
分 隔 物：热熔胶 滤 料：玻纤滤纸
运行条件：使用温度：80℃ 使用湿度：99%
密 封 条：氯丁橡胶
| 型号 | 外形尺寸 (mm) | 额定风量 (m3/h) | 初阻力 (Pa) | 面风速 (m/s) | 终阻力 (Pa) | 容尘量 (g) | 效率 (0.3μM) |
| FU-16A | 1220*610*90 | 1600 | ≤180 | 0.6 | 375 | 1600 | 99.999% |
| FU-12A | 915*610*90 | 1200 | 1200 | ||||
| FU-8A | 610*610*90 | 800 | 800 | ||||
| FU-9A | 915*610*69 | 900 | 0.45 | 950 | |||
| FU-6A | 610*610*69 | 600 | 650 | ||||
| FU-7A | 915*610*50 | 700 | 0.35 | 700 | |||
| FU-4.7A | 610*610*50 | 470 | 450 |
