在有机硅生产中排放的合成尾气和精馏尾气处理中，本公司结合自有技术采用热力焚烧、余热回收、高温除尘、烟气吸收中和相结合的工艺；焚烧产生的热量采用余热锅炉回收1.1MPa的蒸汽供工厂利用，含的烟气经高温除尘处理后，经急冷吸收处理，回收30%盐酸，再经碱洗中和后达标排放。烟气排放按GB18484－2001《危险废物焚烧污染控制标准》执行。
工艺特点：
1、有机硅生产中排放的合成尾气和精馏尾气，燃烧热值高，尾气燃烧放热满足尾气焚烧的要求，理论焚烧温度可达1400℃左右，在焚烧过程中必须采取有效的防止飞温的措施，本工艺采用向炉内喷入10%废盐酸的办法降低燃烧温度，减少烟气中的过氧量，抑制CL2的生成，为回收30%的盐酸创造条件。自动调节喷入10%废盐酸的量达到控制炉内温度。
2、 本技术的焚烧采用的微负压操作系统，整个系统均处于负压状态，不会有废气和含烟气外泄，既安全又不会造成二次污染。
 3、有机硅尾气焚烧后，烟气中含HCL气体，同时产生大量的SiO2粉尘。采用立式余热锅炉，并且在余热锅炉上安装声波吹灰器，有效解决了余热锅炉粉尘的堵塞，余热锅炉的设计压力为1.1MPa，相应的饱和温度为R180℃可以有效的提高换热管的壁温，排烟温度控制在250℃左右，远远高于烟气中HCL的露点温度，可以有效地防止余热锅炉的露点腐蚀。
4、余热锅炉后采用高温布袋除尘装置，杜绝粉尘进入后续吸收系统，有效保证回收盐酸的品质。
5、烟气中HCL的吸收，采用了急冷冷凝吸收塔、二级酸洗塔，提高盐酸的吸收效率，将烟气中90%以上的HCL气体吸收下来，回收30%的盐酸。
 6、 在进入碱洗塔之前增设高效除雾器，将烟气中夹带的盐酸液滴捕集下来，降低了碱洗塔中碱液的用量，同时可以保证排放的烟气中HCL气体达标排放。