高频等离子体发生器是通过高频发生器的作用产生高频振荡磁场，供给等离子体能量。当高频电源与围绕在等离子炬管外的负载应线圈接通时，高频感应电流流过线圈，产生轴向高频磁场。此时向矩管的外管内切线方向通入冷却气Ar,中层管内轴向（或切向）通入辅助气体Ar，并用高频点火装置引燃，使气体触发产生载流子（离子和电子）。当载流子多至足以使气体具有足够的导电率时，在垂直于磁场方向的截面上产生环形涡流电流。几百安的强大感应电流瞬间将气体加热至10000K，在管口形成一个火炬状的稳定的等离子炬。高频等离子体官员主要用于地质、冶金、化工、建材、环保、医药、食品、科学试验等领域。

       我公司生产的高频等离子体光源选用了微机控制可控硅调压装置。

       该装置由于采用了等间距触发方式，使谐波分量大大降低，既节能，又减轻了对电网的污染。同时该装置具有线性矫正环节，使输出跟踪给定电位器的变化而变化，使调整简单方便。锁相分频电路可使设备在系统频率发生变化时，能自动跟踪电网的变化。本设备还采用了多重保护装置，并具有故障记忆显示功能，为设备的维修及故障提供了极大的方便。

       我公司可根据用户的需要专门设计在特殊领域应用的大功率的高频等离子体发生器。我公司曾经为中国矿业大学、中国科技大学、中科院煤化所、大学等单位专门设计生产了特殊科研应用所需的高频等离子体发生器。