开启式单温区管式炉，带5英寸直径石英管和真空法兰，36英寸加热区

1700℃小型多工位管式炉

1100℃立式双温区高压高真空管式炉

1000℃七温区网带炉2

1000℃七温区网带炉

1200℃三温区PE粉体回转炉系统

1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统

1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统2

1200℃等离子增强HPCVD回转炉系统

带自动送料收料回转炉系统

ALD回转炉系统