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显微镜模块 | 高分辨镜头 | 50×,半复消色差物镜 空间分辨率 < 2 μm |
长工作距离镜头 | 工作距离:~ 120 mm 空间分辨率:~ 5 μm | |
拉曼激发和收集模块 | 激光光源 | 波长:532 nm,功率:50 mW。 |
自动对焦 | 对焦精度<0.2微米 | |
拉曼频移范围 | 80 ~ 9000 cm-1 | |
样品移动和扫描平台 | 步进电机台 | 整步分辨率 1 μm。 |
压电陶瓷台 | 最小可移动步长 < 10 nm | |
光谱仪和探测器 | 光谱仪 | 320 mm焦长单色仪,接面阵探测器。 分辨率 < 2.0 cm-1。 |
软件 | 控制软件 | 可选择区域或点位自动逐点光谱采集或拍照。 |
Mapping数据分析软件 | 图像分析: 尺寸测量 缺陷识别 光谱分析: 对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。 计算应力、晶化率、载流子浓度等信息。 主成分分析(PCA)和k-均值聚类处理模块。 将拟合结果以二维图像方式显示。 |