设备主管路主要是通各种特种气体，需做测试项目有：耐压测试、保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。

1、耐压测试目的：管道在承受高压后衔接点不会外漏，以确保所有人员的安全。另外管路中的高压可以侦测出焊道上是否有沙孔存在（沙孔会因为过高的压力造成泄露）。

2、保压测试目的：确保管路输送系统没有明显的泄漏，以便对管路系统进行氦测漏。

3、氦质谱检漏测试目的：利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。                  

4、水分、氧分、颗粒检测（三台仪器并联使用）

1）水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。

2）氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。

3）颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对产品良率影响很大。