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SF6湿度 | |
测量范围 | 露点-80℃~+20℃(支持PPMV等) |
露点精度 | ±0.5℃(当露点温度低于0℃,传感器输出为霜点) |
重复性 | ±0.5℃ |
气体流量 | SF6调节在0.5~0.9L/min |
SF6纯度 | |
测量范围 | 0~99% SF6 |
精度和重复性 | ±0.5%, 与流量无关 |
SF6分解产物 | |
H2S | 1~200PPm(标配) |
SO2 | 1~100PPm(标配) |
HF | 0~10PPm(可选) |
精度 | ±1PPm |