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半导体材料超纯水系统
半导体超纯水设备是应用于半导体生产零件清洗的超纯水设备,需要符合特定的用水水质标准,半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm)我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准
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