大理石精密隔震光学平台
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苏州金旗帜精密设备有限公司
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平面度00级 表面粗糙度小于0.8um 固有频率垂直1.0Hz~1.8Hz水平1.0Hz~1.8Hz 振幅不大于1.2um 重复定位精度+0.05mm
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