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面议分辨率 | JSM-7200F | JSM-7200FLV |
1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV) | 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV, LV ) | |
放大倍率 | ×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display); | |
加速电压 | 0.01kV~30kV | |
束流 | 1pA~300nA | |
自动光阑角控制透镜ACL | 内置 | |
大景深模式 | 内置 | |
检测器 | 高位检测器(UED)、低位检测器(LED) | |
样品台 | 5轴马达驱动样品台 | |
样品移动范围 | X:70mm Y:50mm Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70° 旋转360° | |
低真空范围 | - | 10pa~300pa |