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仪器功能特点:
l 同时分析(5-12)个组气体浓度;
l 采用美国进口VICI色谱检测器;
l 内置排风扇,数据测量稳定、精度高、响应时间短、可达到ppb级;
l 内部气路、色谱柱、阀件等均可采用钝化处理技术,耐腐蚀、吸附性小;
l 10.1英寸高分辨率触控彩色液晶屏,显示信息清晰;
l 触摸屏触控操作简单,可外接鼠标、键盘。
技术参数
技术参数 | |||
精 度 | ±0.01℃ | 基线噪声 | ≤0.1mv |
输出 | 1.(5-12)路(4-20)mA电流输出接口; 2.1路网络通讯、1路232通讯接口(可扩展)。 | 外形尺寸 | 仪表采用标准5U机箱, 482mm(长)*432mm(宽)*222mm(高) |
(PDD检测器)检测限 | |||||||
杂质 | H2 | He | O2 | N2 | Ar | Ne | CO |
ppb | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 | 25 |
杂质 | CO2 | CH4 | CF4 | C2F6 | SO2F2 | C3F8 | |
ppb | 5 | 5 | 10 | 20 | 20 | 20 |